유량계 ｜ 엠케이프리시젼 MKPRECISION
엠케이프리시젼 MKPRECISION
방폭형 질량유량제어기, 질량유량제어기, 질량유량계측기, 압력컨트롤러, 리드아웃박스
Exproof Digital Mass Flow Controller, Digital Mass Flow Controller, Digital Mass Flow Meter, Digital Electronic Pressure Controller, Readout Box
엠케이프리시젼㈜은 2004년 설립한 이후로, 대한민국을 대표하는 MFC 선도기업으로 비약적인 발전을 이루었습니다. 세계 제일의 최첨단 반도체 장비와 대한민국 산업의 일축인 주요 산업용 장비 내 핵심 부품인 MFC를 국내 독자적인 기술력으로 체계적이고 전문적으로 개발, 제조, 공급함으로써 대한민국 산업발전과 더불어 지속적인 성장을 거듭하고 있습니다. 또한, 현실에 안주하지 않고, 세계화를 위하여 수출을 확대함로써 글로벌기술선도기업을 향하여 세계로 무대를 넓혀 나가고 있습니다.
국내 최초 MFC 국산화 성공부터 국내 대표 MFC 기업이 되기까지, 많은 어려움과 시행착오도 있었습니다. 그러나 이를 극복하는 과정에서 축적된 많은 노하우와 기술력은 산업발전과 동시에 높아지는 고객의 요구를 만족시킬 수 있는 원동력이 되고 있습니다.
엠케이프리시젼㈜은 앞으로도 대한민국을 대표하는 MFC 전문기업을 넘어 세계로 나아가는 글로벌 회사로 성장할 수 있도록 임직원 모두 최선의 노력을 다할 것을 약속드립니다.
기체의 유량을 계산하여 제어하는 장비인 MFC와
기체의 유량을 계측하여 값을 측정하는 장비인 MFM은
"가스를 사용하는 모든 사업분야에서 사용되고 있습니다"
질량유량제어기 (Mass Flow Controller)
가스를 정밀하게 써야 하는 공정에서 기체의 유량을 계산하여 제어합니다. 가스의 정확한 유량 제어 및 자동화 생산 라인 구축에 필수적인 장비입니다.
질량유량계측기(Mass Flow Meter)
기체의 유량을 계측하여 값을 측정할 수 있는 장비입니다.
질량유량제어기와 함께 다양한 분야에서 사용되고 있습니다.
질량유량제어기와 함께 다양한 분야에서 사용되고 있습니다.
질량유량제어기 MFC MASS FLOW CONTROLLER
방폭형질량유량제어기
MFC
EXO-100/U100 Series
Class: Ex tD A21(분진) /
Ex nA IIC T4(비점화)
유량범위: 5sccm~3,000slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2.5%
질량유량제어기
MFC
VIC-D100/D200 Series
유량범위: 5sccm~2,500slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2%
질량유량제어기
MFC
CAF-100 Series
유량범위: 100slm~3,000slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2~2.5%
질량유량제어기
MFC
VIC-S220
유량범위: 5sccm~50slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±1%
질량유량계측기 MFM MASS FLOW METER
질량유량계측기
MFM
TSM-D200 Series
유량범위: 5sccm~5,000slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2%
질량유량계측기
MFM
TSM-L100 Series
유량범위: 5sccm~400slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±5%
압력제어기 EPC ELECTRONIC PRESSURE CONTROLLER
압력제어기
EPC
EPC-200 Series
유량범위: 100~2,000slm
제어범위: 압력 제어 범위: 100mbar(g)~20 bar(g)
정확도: 풀스케일의 ≤±1%
리드아웃박스 READOUT BOX
리드아웃박스
MPR-Z300
사용방식이 편리한 리드아웃박스
제어범위: 2채널, 4채널 선택 가능
통신: RS485 통신옵션 선택 가능